吸氣階段：轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，進(jìn)氣側(cè)的空間容積擴(kuò)大，氣體被吸入轉(zhuǎn)子與泵腔形成的封閉腔室；

輸送階段：轉(zhuǎn)子帶著封閉腔室內(nèi)的氣體向排氣側(cè)移動(dòng)，此過(guò)程中氣體無(wú)壓縮；

排氣階段：當(dāng)封閉腔室與排氣口連通時(shí)，排氣側(cè)的高壓氣體回流對(duì)腔內(nèi)氣體進(jìn)行壓縮，隨后氣體被排出。

羅茨真空泵通常需搭配前級(jí)泵（如旋片泵、水環(huán)泵）使用，不能單獨(dú)抽大氣，主要用于提升真空系統(tǒng)的抽氣速率和極限真空。

吸氣階段：小腔容積從最小逐漸變大，壓力降低，通過(guò)吸氣口吸入氣體；

壓縮階段：葉輪繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，小腔容積從zui大逐漸縮小，氣體被壓縮；

排氣階段：當(dāng)小腔容積縮小到最小，氣體壓力達(dá)到排氣壓力時(shí)，通過(guò)排氣口排出。

其工作液也可根據(jù)工況換成其他液體（如油、硫酸），對(duì)應(yīng)稱為液環(huán)真空泵。

吸氣階段：小腔室容積逐漸增大，內(nèi)部壓力降低，被抽容器內(nèi)的氣體隨之流入；

壓縮階段：轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，小腔室容積縮小，氣體被壓縮，壓力升高；

排氣階段：當(dāng)氣體壓力超過(guò)排氣口的大氣壓和排氣閥彈簧力時(shí)，排氣閥打開(kāi)，氣體被排出泵外。

泵腔內(nèi)會(huì)填充真空油，起到密封、潤(rùn)滑和冷卻作用，因此也叫油潤(rùn)滑旋片泵。